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直接热式质量流量计和控制器

发布者:sailsors   发布时间:2009-03-17   阅读:6336

 


V10FC-R直接热式流量计

产品简介

   V10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理,直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件,并采用哈氏合金传感器,V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用,V10FC也同样适用。
   V10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样,具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。



产品应用

产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。


V10FC-R直接热式控制器
产品特点

● 直接热式原理,无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 精确测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小,可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入


技术参数
 

 

技术指标
V10FC-RC质量流量控制器
V10FC-RM质量流量控制器
量程范围
小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~2000SLM
控制范围
控制器20:1
流量计20:1
 
准 确 度
流量:±3%F.S 压力:0.5% F.S 温度:±1℃
线 性
±0.5%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
100ms
10ms
数 字 量
RS232/485,MODBUS协议
模 拟 量
0~5V、4~20mA、1~5V
供电
12V/24V/±15V可选
工作温度
0~50℃
工作压力
工作压差:0.03~0.5MPa
工作压降:<0.01Mpa
最大耐压
低压1MPa,中压3MPa,高压10MPa
电气连接
DB15孔
漏 率
1×10-9SCCSHe
温度系数
±0.015%F.S/℃
底座材质
316L
密封材料
氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶
接 头
VCR1/4;swagelokφ6