V10FC-M/HC型MFC外观图

产品简介

    V10FC中高压型采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316不锈钢兼容的气体。V10FC采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
   显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置，具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作，可以完成以下内容：气体选择、单位选择、量程设定，报警点设定，阀门状态、自动校准等。
   与热式流量计不同，当用气体转换系数时，V10FC没有附加的“比热容”误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。



产品应用

产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析仪器等。

V10FC-M/HM型MFC外观图

产品特点

● 通用型，适合10Mpa以下各种气体测量
● 无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年
● 准确度0.8%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定
● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出
● 无需预热，测量时无响应滞后
● 内置31种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度
● 自动累计，分段累计功能

技术指标

V10FC-M/HC质量流量控制器

V10FC-M/HC质量流量计

量程范围

小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM

控制范围

控制器50：1

流量计100：1

准 确 度

流量：±0.8%读数±0.2%满量程

可选±0.4%读数±0.2%满量程

压力：0.5%F.S 温度：±1℃

线 性

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

100ms

10ms

数 字 量

RS232/485，MODBUS协议

模 拟 量

0～5V、4～20mA、1～5V

供电

12V/24V/±15V可选

工作温度

0～50℃

工作压力

工作压差：0.03～0.5MPa

工作压降：<0.01Mpa

最大耐压

中压3MPa，高压10MPa

电气连接

DB15孔

漏 率

1×10-9SCCSHe

温度系数

±0.015%F.S/℃

底座材质

316L

密封材料

氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶

接 头

VCR1/4;swagelokφ6