V10FC-R直接热式流量计

产品简介

   V10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，V10FC也同样适用。
   V10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。


产品应用

产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。

V10FC-R直接热式控制器

产品特点

● 直接热式原理，无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 精确测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入

技术参数

技术指标

V10FC-RC质量流量控制器

V10FC-RM质量流量控制器

量程范围

小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM

控制范围

控制器20：1

流量计20：1

准 确 度

流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃

线 性

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

100ms

10ms

数 字 量

RS232/485，MODBUS协议

模 拟 量

0～5V、4～20mA、1～5V

供电

12V/24V/±15V可选

工作温度

0～50℃

工作压力

工作压差：0.03～0.5MPa

工作压降：<0.01Mpa

最大耐压

低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa

电气连接

DB15孔

漏 率

1×10-9SCCSHe

温度系数

±0.015%F.S/℃

底座材质

316L

密封材料

氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶

接 头

VCR1/4;swagelokφ6